泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓(yā)縮比。壓縮比除與泵(bèng)的級數和轉速有關外,還與氣體種類有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比(bǐ)。對氮(或空氣(qì))的壓縮比為108~109;對氫為102~104;對分子量大的(de)氣體如油蒸氣則大于1010。
西安上海凱泉分公司泵的極限真空度(dù)為10-9帕,工作壓力(lì)範圍為(wéi)10-1~10-8帕,抽氣速率為(wéi)幾十到(dào)幾千(qiān)升每秒(1升=10-3米)。渦輪分子泵必(bì)須在分(fèn)子流狀态(氣體分子(zǐ)的(de)平均自由程遠大(dà)于導管截面.大尺寸的流态)下工作才能(néng)顯示出它的優越性,因此要求配有工作壓力為1~10-2帕的前級真空泵。分子泵(bèng)本身由轉速為10000~60000轉/分的中(zhōng)頻電動(dòng)機直聯驅動。