渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子(即動葉輪)、靜葉輪和驅動系統等組成(chéng)。動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動(dòng)的速度(一般為(wéi)150~400米/秒)。單個葉輪的壓縮比(bǐ)很小,上海凱泉渦輪分子泵要由十多個動葉輪和(hé)靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替(tì)排列。動、靜(jìng)葉輪(lún)幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。圖(tú)2為20個動葉輪組成的(de)整體式轉(zhuǎn)子。
每兩個動葉輪(lún)之間裝一(yī)個靜葉(yè)輪。靜葉輪外緣用環固定并使動(dòng)、靜葉輪間保持1毫米(mǐ)左右的間隙,西安分公司動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉。