泵的排氣壓力與進氣壓力之(Zhi)比稱為壓縮比。壓縮比除與泵[Beng]的級數[Shu]和轉速有(You)關(Guan)外,還與氣體(Ti)種類有關。分[Fen]子量大的氣體有高的壓縮比。對氮(或空氣)的壓縮比為108~109;對氫為102~104;對分子量大(Da)的(De)氣體如油蒸氣則(Ze)大于1010。
西[Xi]安上海凱泉[Quan]分公司泵[Beng]的極限真空度為10-9帕,工作壓力範圍為10-1~10-8帕(Pa),抽氣速(Su)率為幾十到(Dao)幾千[Qian]升每秒(1升=10-3米)。渦輪分子泵[Beng]必須在分子(Zi)流狀态(氣體分子的平均自由程遠大于導管截[Jie]面.大尺寸的流[Liu]态)下工作才(Cai)能顯示出(Chu)它的優越性,因此要求(Qiu)配有工作壓(Ya)力為1~10-2帕的前級真(Zhen)空泵。分子泵本身(Shen)由轉速為10000~60000轉/分的中(Zhong)頻電動機直(Zhi)聯(Lian)驅動。